潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以後還要列舉,但作為總的原則看,由於加工精度越來越精細,所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹繫數的差要求越來越小。
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以後還要列舉,但作為總的原則看,由於加工精度越來越精細,所以對溫度波動範圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹繫數的差要求越來越小。